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美國BIRD 8921SC13油射線RF終止負載操作與維護要點

時間:2025/5/13閱讀:28
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  美國BIRD 8921SC13油射線RF終止負載以實現最大的過程可重復性和一致性,現代等離子體應用需要精確的RF功率調節和控制。確保準確且可重復的RF電源到腔室的關鍵組件是RF發電機的校準,調節和監視。現在,Bird提供超穩的低VSWR負載,可快速,精確地測量發電機功率輸出時,與精確的功率傳感器(例如Bird 4020系列)一起使用。 8921SC13不僅提供較低的VSWR,而且在臨界頻率下VSWR的VSWR總變化少于0.1 dB。由于校準不同的時間長度,不需要負載熱身或重復性風險。這可以大程度地減少與此校準相關的錯誤,并控制更關鍵的過程變量之一。

  美國BIRD 8921SC13油射線RF終止負載操作與維護要點如下:

?安裝規范?:

使用扭矩扳手固定LC連接器,避免機械應力損傷接口3;

負載需豎直安裝,確保冷卻油均勻分布8。

?校準要求?:

配合4421A系列功率計進行定期零點校準,推薦周期12個月56;

校準過程中需固定信號源輸出,通過標準衰減器修正系統誤差6。

?安全警示?:

避免超過236℃工作溫度,防止冷卻油碳化失效13;

高功率測試時需啟用互鎖熱開關功能,防止意外過熱1。

?典型配置方案?:8921SC13負載 + BAN4020功率傳感器 + 4421A功率計,構成射頻功率校準系統

image.png

   美國BIRD 8921SC13油射線RF終止負載技術參數:

電力等級5 kW頻率范圍和VSWRDC至28 MHz @ 1.1最大。

VSWR小于1.05:1阻抗ω50(名義)VSWR穩定性<0.1 dB,穩定頻率下的額定功率從0到100%穩定頻率13.56 MHz±10 kHz連接器“ QC"類型LC(女性) - 通常提供互鎖熱開關 - 可選通常關閉。在236°C(457°F)處打開熱開關等級115 VAC,10 A

230 VAC,5 A溫度范圍操作: +5至+40°C(+41至+104°F)

存儲: - 40至+45°C( - 40至40至+113°F)高度1520 m(5000英尺)濕度95%的無調最大。冷卻方法油介電和對流電流方面32.8“ x 9.5" x 26.9“

832 x 241 x 681 mm重量126磅。

57公斤結束黑色環氧樹脂

東莞市廣聯自動化科技有限公司專業供應進口電磁閥、氣缸、泵、傳感器、繼電器、開關、離合器、過濾器、濾芯、流量計、液位計、編碼器、伺服閥等產品。德國美國有公司,廠家一手貨源,詳請致電。

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