lintec以太網CAT質量流量控制器MC-5000C

用于 EtherCAT 通信的高性能質量流量控制器。

用于半導體工藝的高性能質量流量控制器EtherCAT通信版本。 它是半合規的，可以通過EtherCAT通信進行控制，EtherCAT通信用于半導體制造設備的高速傳輸系統。

半導體制造工藝所需的金屬密封件和LINTEC的原始環境溫度補償流量傳感器作為標準安裝，并且可以作為液化氣支架等選項添加。

使用示例

EtherCAT通信設備的通信統一

越來越多的半導體制造設備配備了EtherCAT通信（數字I / F），用于高速控制機械臂等運輸系統。 EtherCAT通信有65，536個節點，MFC的所有測量系統和運動系統元件都可以與EtherCAT通信統一。

lintec以太網CAT質量流量控制器MC-5000C

規格

* 規格表為具有一般規格的質量流量控制器。 可以通過選項進行更改。