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用于導電薄膜制造的濺射設備-臺式涂布機
特征
應用/結果示例
基本規格
陰極 | φ2英寸/平板型電極 |
濺射靶 | 包含金靶 |
氣體導入機制 | 針閥 |
間歇功能 | 標配 |
真空泵 | 直連式旋轉泵:20l / min(帶自動泄漏) |
箱體尺寸 | 內徑φ90mmx D90mm(SUS制) |
樣品交換方法 | 前門開合式 |
尺寸(寬/深/高) | 主體:160/326 / 286mm RP:300/160 / 200mm |
重量 | 身體:10公斤RP:9公斤 |
SC-701MkⅡ進階
![]() | 高規格緊湊型鍍膜機,適用于各種金屬,例如鎳,鉻,鎢,鈦,鋁 |
SC-701AT
![]() | 只需設置樣本并等待。全自動濺射,膜厚可調。 |
SC-701HMCⅡ
![]() | 磁控管類型適用于W / Ti / Cr等薄膜生產。微電腦控制/自動快門標準設備。 |
SC-701MkⅡ
![]() | 該系列中小的濺射,使電極薄膜的制造變得容易 |
SC-701MC
![]() | 使用對樣品友好的磁控管陰極。膜厚可控的全自動模型。 |
SC-708系列
![]() | 非常適合在大型基板上進行薄膜制造以及PDMS的表面處理 |
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