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適用鎳,鉻,鎢,鈦,鋁等金屬涂布的實驗涂布機

時間:2021/5/27閱讀:1236
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適用鎳,鉻,鎢,鈦,鋁等金屬涂布的實驗涂布機

特征

  • 直流濺射類別中系列中小的超緊湊機型
  • 配備皮拉尼真空計,以確保成膜條件的可重復性
  • 配備手動百葉窗作為標準裝備
  • 使用的樣品臺和載物臺可以輕松更改TS之間的距離。
  • 由于可以涂鎢,因此也可以用于制備高分辨率SEM的樣品。

應用/結果示例

  • 各種設備的電極膜附件
  • 用于制造反射薄膜等的應用

基本規格

陰極φ2英寸直流磁控管/平板型電極
適用對象金/鉑/金-鈀/鉑-鈀/銀/鈀/鎢/鎳/鉬/鉻/鈦/鋁
壓力測量皮拉尼真空計
壓力控制針閥手動控制
引入直徑外徑φ6mm一鍵式安裝
工藝氣體氬氣
真空泵直聯式旋轉泵:20L / min(帶自動泄漏)
箱體尺寸內徑φ90×D90mm(SUS制)
樣品交換方法前門開合式
尺寸(寬/深/高)機身:160/450 / 290mm RP:295.5 / 156 / 199.5mm
重量身體:9公斤RP:9公斤

 

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