靜電對電子產品生產的影響

【資料簡介】

靜電對電子產品生產的影響

近半個世紀以來ESD在工業部門所造成的著火、爆炸等事故。僅美國電子工業每年因靜電造成的損失達幾百億美圓，因此，ESD防護對于減少損失、提高產品質量與生產效率具有非常重要意義。

一、靜電對電子產品生產的影響主要有兩個方面：

（1）靜電造成的污染

靜電會把污染物的微小顆粒吸引到半導體晶片的表面，使電子器件例如微處理器的運作以及它所控制的設備出現問題。在凈化室中處理材料時，也會由于靜電產生問題。

潔凈室是指有HEPA過濾系統的工作環境。HEPA過濾系統能夠濾去進入

潔凈室的空氣中的微小顆粒。但是，潔凈室并不是潔凈。因為在潔凈室外中有人員、機器、儀器和各種設備，都會使潔凈室受到污染。潔凈室中常常使用的塑料、石英、陶瓷、玻璃、硅都是很好的絕緣體，容易累積靜電荷。人員、機器、儀器和設備都可能把微小的顆粒帶入潔凈室。如果一個產品的硅片表面帶有電荷又沒有凈它消除；它的表面會吸引空氣中的微小顆粒，如果使這個產品變成廢品。研究表明，靜電是使直徑為0.1微米至1微米的顆粒沉積在晶片上的主要原因。這類污染是造成電子產品成品率下降的主要因素。

（2）靜電放電對器件的毀壞

在電子器件、線路板、子系統和系統的制造、安裝、運輸和測試過程中，靜電放電會損壞器件。例如，在濕度為10%時，把雙列直插器件從聚四苯乙烯海棉橡膠上取下來時產生的靜電電壓高達14500伏；在濕度為55%、溫度為24℃的環境中；人在地毯上行走十尺，人體上荷聚積的靜電可以達到5000伏，這樣高的電壓會在很短的時間內將器件毀壞。因為MOS器件的擊穿電壓是100伏。

注：MOS是對金屬（Metal）--氧化物（Oxide）--半導體（Semiconductor））的簡稱，MOS結構是由一層薄的氧化物介質分隔的導體和半導體襯底組成的。

現在電路尺寸不斷地縮小，亞微米技術的應用已是司空見慣。器件的尺寸縮小了，集成程度大幅度提高，一塊芯片上可以制造數以百萬只的晶體管。但是它們承受靜電放電的能力也大大地下降。靜電放電會使氧化物受到破壞而造成短路，降低成品率。