太陽誘電展出檢測靈敏度為1ppb的氣體傳感器

【資料簡介】

太陽誘電展出檢測靈敏度為1ppb的氣體傳感器 
         太陽誘電開發出檢測靈敏度為1ppb的氣體傳感器，并在2007年10月2日開幕的“CEATEC JAPAN 2007”上展示。氣體傳感器在硅晶圓上形成介電膜，因其吸附氣體的特點太陽誘電將其稱為“納米級氣體傳感器”。介電膜本身尺寸極小，為80μm×500μm，便于實現傳感器整體的小型化。

　　關于用途，太陽誘電首先考慮用于半導體生產設備內氧氣殘留測定等生產線用途。目前，進行ppb級的檢測于工廠設備安裝時使用分析設備來檢測殘留氣體的濃度。該公司認為，今后隨著半導體工藝的微細化，必須提高在線氣體檢測精度，1ppb～數ppb的高檢測靈敏度傳感器的需求將增大。

　　此次開發出的傳感器利用介電膜吸附氣體后，介電膜的電阻值出現變化，以此來檢測氣體。具體的檢測方法如下。在介電膜吸附欲檢測的氣體后，檢測介電膜的電阻值。然后，加熱介電膜使強介電體變化為正常介電體，放出氣體。之后再次使介電體吸附氣體，并測量電阻值恢復到之前的檢測值所需時間。由于氣體再次被介電體吸附的時間與氣體濃度成反比，所以可以測定氣體濃度。通過檢測氣體放出時的電阻值的時間變化，能夠實現高檢測精度。過去的半導體氣體傳感器也是利用氣體吸附來檢測電阻值的變化，不過控制氣體的放出較難，檢測電阻值的時間變化也很難。

　　此次展示的傳感器的開發為日本經濟產業省的2007年地區新建產業制造技術開發費用補助項目。目標是09年供應樣品。如果實現量產的話，估計包括檢測電路在內的單價將控制在數萬日元以內。