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德國易福門IFM真空傳感器
點擊次數：1015 發布時間：2019-10-15
德國易福門IFM真空傳感器是工業實踐中常用的一種壓力傳感器，其廣泛應用于各種工業自控環境，涉及石油管道、水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產自控、HANG KONG航天、JUN GONG、石化、油井、電力、船舶、機床、通風管道等眾多行業。
上海穎哲工業自動化設備有限公司-東莞分公司，我公司具有良好的市場信譽，專業的銷售和技術服務團隊，憑著多年經營經驗，熟悉并了解市場行情，贏得了國內外客戶*，在美國德國分別設有辦事處，國外廠家直接下單訂貨，一手貨源，價格好，質量有保證，貨期短，也可提供報關單等證明，歡迎新老客戶前來詢價采購。
德國易福門IFM真空傳感器的工作原理：
真空傳感器的工作原理是介質的壓力直接作用在傳感器的膜片上，使膜片產生與介質壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻發生變化，和用電子線路檢測這一變化，并轉換輸出一個對應于這個壓力的標準信號。
德國易福門IFM真空傳感器的相關參數：
綜合精度： 0.25%FS、0.5%FS輸出信號： 4～20mA(二線制)、0～5V、1～5V、0～10V(三線制)
零點溫漂移： ≤±0.05%FS℃
量程溫度漂移： ≤±0.05%FS℃
補償溫度： 0~70℃
安全過載： 150%FS
極限過載： 200%FS
響應時間： 5 mS(上升到90%FS)
負載電阻： 電流輸出型：大800Ω；電壓輸出型：大于5KΩ
絕緣電阻： 大于2000MΩ (100VDC)
密封等級： IP65
長期穩定性能： 0.1%FS/年
振動影響： 在機械振動頻率20Hz～1000Hz內，輸出變化小于0.1%FS
電氣接口(信號接口)： 緊線螺母+四芯屏蔽線
機械連接(螺紋接口)： 1/2-20UNF、M14×1.5、M20×1.5、M22×1.5等，其它螺紋可依據客戶要求設計
德國易福門IFM場發射真空傳感器：
場發射真空傳感器是采用MEMS加工工藝研制一種新型的基于硅尖陣列場發射原理的微型真空傳感器。通過理論分析， 確立了該種傳感器中硅尖場發射電流與真空度的關系。并利用干法刻蝕工藝， 在硅片上制作了高3.2μm， 曲率半徑小于70nm的200 ×42硅尖陣列。保持陽極與硅尖距離為1μm的情況下， 可以觀察到陽極電壓為10V左右時開始有明顯的場發射電流。
利用硅尖陣列場發射電流大小隨真空度變化而變化的現象， 研制了一種基于硅尖陣列場發射原理的場發射真空傳感器。利用MEMS加工工藝制作出傳感器樣機， 并搭建測試系統測試其特性。通過實驗發現， 隨著真空度的提高， 傳感器輸出電流也會隨之增大， 而且真空度越高輸出電流越大， 分辨率、靈敏度越高。
德國易福門IFM壓阻式真空傳感器：
原理
壓阻式真空傳感器的測量部件是一個裝有固態壓力芯片，該芯片利用半導體材料的壓阻效應，在特定晶面上，采用集成電路工藝技術擴散成四個等值電阻，組成一個惠斯登電橋，使得形變與橋阻變化形成一一對應關系，當壓力變化時，電橋失去平衡，輸出一個與壓力成正比的電信號，再由感應智能芯片進行非線性修正和溫度補償，終輸出與壓力成線性對應關系的標準信號。
理論函數
壓阻式真空傳感器是壓力變送器的一種，是將需要測量的真空變量轉換為可輸出的標準信號，輸出信號與真空變量之間有一定的函數關系，主要用于測量過程中真空參數的測量與控制 [2] 。典型的二線制壓阻式真空傳感器的測量范圍0 ～ 100 kPa、工作電壓為12 ～ 36 V，工作電流為4 ～ 20 mA 的標準信號輸出，采用V /I 轉換電路且零位可自由遷移。壓阻式真空傳感器輸出信號和真空度的函數關系式如公式( 1) ：
I = 4 + ( 20 - 4) P' ( 1)
式中： P'為某一真空狀態下的示值，kPa； P 為傳感器的滿量程值，kPa； I 為P'真空狀態下對應的輸出電流值，mA。
通過公式( 1) 可以得出某一真空傳感器在測量范圍內任意真空度對應的理論電流輸出值，為其準確信號輸出提供參考。
在對真空傳感器校準時，由于測量誤差是按照測量準確度等級劃分的，典型的壓阻式真空傳感器
測量誤差和準確度間的函數關系如公式( 2) ：
△A = ( 20 － 4) δP ( 2)
式中： △A 為測量誤差的上下限值； P 為此傳感器的滿量程值，kPa； δ 為某一真空傳感器標注的準確度等級。
準確度等級是傳感器的主要技術指標，是一個定性的概念，通過公式( 2) 可以換算出真空傳感器在某一準確度等級下的測量允許誤差限，可以判斷真空傳感器標注的準確度等級是否正確，如表1 所列。