特點(1)在較寬的壓力范圍內有較大的抽速;(2)轉子具有良好的幾何對稱性,故振動小,運轉平穩。轉子間及轉子和殼體間均有間隙,不用潤滑,摩擦損失小,可大大降低驅動功率,從而可實現較高轉速;(3)泵腔內無需用油密封和潤滑,可減少油蒸氣對真空系統的污染;(4)泵腔內無壓縮,無排氣閥。結構簡單、緊湊,對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感;(5)壓縮比較低,對氫氣抽氣效果差;(6)轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面,加工和檢查比較困難。
普利森PA4050-N1
美國派克漢尼汾SA1508
日本宇部MI-510F
日本宇部DM-BB2
美國捷能GENERON 6150C完整型號美國捷能GENERON 6150CP
美國派克漢尼汾 591P/270A直流調速器591P-53327032-P00-U4A0
321HS9292 24VDC美國派克漢尼汾PARKER電磁閥
⑸真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。
EVAC 泵軸 6547055
EVAC總成 6548539 6547049 6547051 6547050
EVAC真空泵導輪 6555507 螺旋螺桿
隔膜閥 5906800
電動閥 6540215 230V 0.06KW 1.2A
噴射泵葉輪 5451270
噴射泵機械密封 5451310
噴射泵(帶電機) 6580439 SE044A1501 4KW
排放閥 5435015
直通隔膜閥 F50KB
真空泵 6580439
延時自閉式沖洗閥 5979312
粉碎泵 0.5CWF-25B
止回閥6558400168
EVAC 6547038 電機
EVAC 6546721 抽水泵 被替代6555528
EVAC 6555528 抽水泵
EVAC 5775500 Control mechanism
EVAC 6542997 Water valve
EVAC 6543002 Discharge valve
70701001 Level switch ssp/3k
70301001 Air blower complete
54376223 Vacuum gauge R1/2"
6541709 spare parts set for air blower
71501001 Air valve R1/2"
71502001 Air valve R1"
6541776 Mechanical seal
79210085 O-ring
6541779 Ball bearing
5490566 Ball bearing
6541708 spare parts set for discharge pump
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