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TAKAOKA TOKO MIS-CA1804T/MIS-CA1303T半導體用光掩模缺陷檢查裝置

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具體成交價以合同協議為準

產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地上海

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更新時間：2024-06-11 08:53:30瀏覽次數：156次

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產品簡介

MIS-CA1804T/MIS-CA1303T半導體用光掩模缺陷檢查裝置特點：高速

詳細介紹

MIS-CA1804T/MIS-CA1303T半導體用光掩模缺陷檢查裝置特點：

高速，高感度Die-DB檢查

可以很靈敏的檢測出CD缺陷

可以離線回放檢查

（如果需要在離線回放檢查時同時進行處理，需要另外追加 PC設備）

可以進行Die和DB檢查領域的混合檢查（選配項）

Allowed combination inspection of Die-DB and Die-Die

可以對應MIS-CA1804T / 180nm設計規則

（最小檢出缺陷尺寸：250nm）

可以對應MIS-CA1303T / 130nm設計規則

（最小檢出缺陷尺寸：180nm）




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