用途
●提高各種材料的粘接性、表面改質處理
●清洗各類基板。
●電子部品、材料表面改質。
●去除有機物和自然氧化膜。
特點
●體積小，節省空間。
●選用小型腔體，反應效率高。
●更容易嵌入生產線使用。
●可通過操作面板自由切換等離子模式。
●配備冷卻反應臺
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