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日本advance riko桌面型快速退火爐MILA-5050介紹說明

時間:2021/5/14閱讀:1857
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日本advance riko桌面型快速退火爐MILA-5050介紹說明

Mila-5050是一款桌面型的快速退火爐,可用于處理φ50mm以內的樣品。
用于處理φ20mm以內的Mila-5000系列自推出以來深受客戶的認可。隨著客戶對大尺寸樣品處理需求,Advance Riko在Mila-5000的基礎上推出可處理φ50mm樣品的MILA-5050。MILA-5050延續了MILA5000的緊湊設計,是一款集成加熱爐,加熱腔及溫控器與一體的桌面型快速退火爐。

用途

  • 硅片和復合圓晶的快速退火
  • 電子材料的快速熱退火,例如光學CVD的基板
  • 玻璃基板,陶瓷和復合材料等的熱處理
  • 熱循環測試
  • 金屬材料的熱退火
  • 涂膜的耐熱性評估
  • 有機材料和樹脂的加熱和干燥

特長

  • 可對φ50mm以內的樣品進行熱處理
  • 高熱處理溫度1200℃
  • 集成加熱爐,加熱腔及溫控器與一體的桌面型設計
  • 搭配水冷循環腔體,可進行潔凈的快速升降溫。
  • 通過USB連接,可將溫控程序輸入到電腦
  • 加熱過程中可通過電腦監測溫度數據;

規格

控溫范圍RT ~ 1200 °C
升溫速率50 °C/s
樣品尺寸□ 50 or φ 50 × t 2 (mm)
氣氛真空,流動氣氛

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