單晶硅在生產過程中對用水要求十分嚴格，如果水質不合格會直接影響單晶硅的品質，導致單晶硅性能下降，如果把這種次品應用到其他產品中，也會影響到其他產品的性能，所以單晶硅超純水設備成為了單晶硅生產過程中*的裝置之一。單晶硅超純水設備采用的主要工藝如下：

　　原水箱→原水提升泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級高壓泵→一級反滲透→級間水箱→二級高壓泵→中間水箱→EDI提升泵→微孔過濾器→EDI系統→EDI水箱→拋光混床→用水點

　　單晶硅超純水設備被廣泛應用于太陽能電池、單晶硅/多晶硅硅片硅材料清洗、LED、LCD、光電光學行業領域中。單晶硅超純水設備設計采用成熟、可靠、先進、自動化程度高的兩級RO+EDI+拋光混床處理工藝，確保處理后的超純水水質能夠*符合單晶硅生產用水標準，使得生產效率更高、運行更加穩定、經濟效益理想。