aixACCT雙光束激光干涉儀aixDBLI

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產品型號aixDBLI

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更新時間：2024-05-13 08:28:35瀏覽次數：166次

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產品簡介

產品介紹機電大信號應變和極化測量

詳細介紹

產品介紹

機電大信號應變和極化測量。

壓電小信號系數和介電常數與直流偏置電壓的關系。如果已知剛度值，則可以使用附加的aixPlorer軟件工具從這些值得出耦合系數。

電氣和機電性能疲勞。

作為電氣薄膜測試的創新者，aixACCT Systems已將的雙光束技術擴展到可商用的雙光束激光干涉儀系統，該系統可進行長達8英寸的晶圓表征。用于測量d33的雙光束激光干涉儀（aixDBLI）可提供經過驗證的精度（x切割石英），可達0.2 pm / V。該系統的主要特點是單次測量的采集時間極短，僅為幾秒鐘。基于新的數據采集算法，測量速度提高了100倍。這使得比較了以相同激勵頻率記錄的薄膜的電氣和機械數據。由于差分測量原理，消除了樣品彎曲的影響，這是使用原子力顯微鏡（AFM）進行此類測量的主要障礙。

產品參數

分辨率：1 pm通過x-cut Quartz測試

位移/應變測量：

50 Hz-5 kHz

100 mV至10 V

Max.25 V（可選）

壓電d33系數：

偏壓（1 mHz至1 Hz）：100 mV至10 V

Max.25 V（可選）

小信號（1 kHz至10 kHz）：100 mV至10 V

電致伸縮M33：與d33相似

C（V）測量：