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天津市拓普儀器有限公司
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TPY-2自動橢圓偏振測厚儀
| 測量范圍 | 薄膜厚度范圍：1nm-300nm；折射率范圍：1-10 |
| 測量厚度最小示值（nm） | ≤1 |
| 偏振器方位角范圍 | 0°- 180°讀取分辨率為0.05° |
| 偏振器步進角 | 0.014°/步 |
| 測量膜厚（nm） | ±1 |
| 折射率重復性精度 | ±0.01 |
| 度盤刻度 | 每格1度 |
| 儀器測量精度（nm） | ±0.5（薄膜厚度在10-100nm時） |
| 入射角調節范圍 | 20°～90°精度為0.05° |
| 入射光波長（nm） | 632.8 |
| 光學中心高（mm） | 80 |
| 允許樣品尺寸（mm） | φ10-φ140（或任意形狀），厚度≤15 |
| 外形尺寸（mm） | 590*390*320 |
| 主機重量（kg） | 28 |
| 基本配置 | TPY-2 | 橢圓偏振測厚儀主機 | 1臺 |
| TPY-2 | 主機電控箱 | 1套 | |
| 二氧化硅膜樣片 | 1片 | ||
| TPY-2 | 橢圓偏振測厚儀專用軟件 | 1套 | |
| 需另配 | 計算機及打印機 | 1套 |
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