掃描電子金屬顯微鏡 FlexSEM 1000詳細介紹

緊湊型設計，分辨率為4 nm*1

通過高靈敏度二次電子探測器，背散射探測器，低真空探測器（UVD*2），實現低加速電壓/低真空下高質量圖像觀察

操作簡捷，即使新手也能拍出高質量的圖片

新開發的導航功能「SEM MAP」，便于快速鎖定視野

大窗口（30 mm2）SDD能譜系統，便于快速分析元素成分*2

?掃描電子金屬顯微鏡 FlexSEM 1000技術規格

項目 內容

分解能*3 4.0 nm @ 20 kV （SE：高真空模式）

15.0 nm @ 1 kV （SE：高真空模式）

5.0 nm @ 20 kV （BSE：低真空模式）

加速電壓 0.3 kV ～ 20 kV

放大倍率 6× ～ 300,000× （底片倍率）

16× ～ 800,000× （顯示倍率）

低真空模式 真空范圍：6 ～ 100 Pa

電子槍 預對中鎢燈絲

樣品臺 3-軸自動馬達臺

X：0 ～ 40 mm, Y：0 ～ 50 mm, Z：5 ～ 15 mm

R：360°, T：-15° ～ ＋90°

樣品尺寸 直徑80 mm

樣品高度 40 mm

尺寸 主機：450（W） x 640（D） x 670（H） mm

供電單元：450（W） x 640（D） x 450（H） mm

探測器選配

高靈敏度低真空二次電子探測器（UVD）

能量分散型X線探測器（EDS）