機械真空泵按其工作原理及結構特點分述如下：
一、變容真空泵
它是利用泵腔容積的周期變化來完成吸氣和排氣以達到抽氣目的的真空泵。氣體在排出泵腔前被壓縮。這種泵分為往復式及旋轉式兩種。
1、往復式真空泵
利用泵腔內活塞往復運動，將氣體吸入、壓縮并排出。又稱為活塞式真空泵。
2、旋轉式真空泵
利用泵腔內轉子部件的旋轉運動將氣體吸入、壓縮并排出。
旋片式真空泵是一種油封旋轉抽氣機，又叫蓋德泵，主要由定子，轉子及滑片等組成。轉子偏心裝在定子中，并與定子內壁頂點相切。轉子上裝有兩個能滑動的滑片，靠彈簧和轉動時離心力的作用而緊緊貼在定子壁上。轉子和滑片將定子分成吸氣腔、貯氣腔和排氣腔。由于轉子轉動帶動滑片使吸氣腔不斷擴大而吸氣.而排氣腔中氣體逐漸被壓縮，直到其中壓力超過大氣壓時，排氣閥片被打開，氣體被排到大氣中去。
為防止排出氣體返流泵內，特將排氣閥用油覆蓋密封。真空泵油對定子、轉子與滑片之間除潤滑作用外，也還有密封作用。
普通旋片真空泵，多用于抽除純凈干燥氣體，若抽除含有大量凝聚氣的氣體，則需選用旋片氣鎮（閥）真空泵。有氣鎮閥安裝于“貯氣腔”，它會開啟吸入一定數量的空氣，其分壓超過抽氣空腔中水蒸氣壓力的幾倍，到排氣腔時，水蒸氣的分壓還低于飽和蒸氣壓，故不會凝結成液體水滴，而保持氣態與空氣一起排出泵外。
