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煙塵的去除設備， 一般采用靜電除塵器或袋式除塵器等。酸性氣體的去除， 一般采用洗滌塔去除SO2和HCI 等氣體至規定濃度之下。至于NOx，雖然在煙氣中含量不高，即使不處理直接排放， 一般也不會超過環保標準的要求。但隨著近年來，人們對環境質量要求日益嚴格， 一些垃圾焚燒廠也采用了一些措施抑制NOx的產生。 
除塵器
為了符合顆粒物的排放標準，應用于垃圾焚燒處理設施的除塵器通常為旋風除塵器、袋式除塵器及靜電除塵器三種。

(1 靜電除塵器
靜電除塵器是利用高壓負極產生電暈作用，放出電子，使通過的煙氣電離化，煙氣的塵粒形成荷電，由除塵器的正極板吸附與中和。經過適當時間后，錘擊極板，使附著于極板上的塵粒吊落與集塵漏斗內。靜電除塵器的除塵效果與煙氣流量、粉塵粒徑分布、凝聚性、比電阻、電極板距、電壓、電流等有關，一般可達90% 以上。 

(2) 旋風除塵器旋風除塵器是利用強制渦流所產生的離心力及重力沉降作用，而將廢氣中的顆粒狀污染物除去。旋風除塵器的凈化效率約為65%~80%，對于10μm 以上的粒狀污染物有效，10μm 以下則效果較差。旋風除塵器因煙氣高速流動，能量損失較大，且極易產生腐蝕現象。大型垃圾焚燒廠可以選用旋風除塵器作為一次除塵器。

(3) 袋式除塵器袋式除塵器是使煙氣通過濾袋，讓粒狀污染物附著于過濾層上，定時再以振動、氣流反沖或脈沖式沖洗的方式，清除附著在濾袋上的粒狀污染物。除塵效果與煙氣流量、溫度、含水量、含塵噩及濾材等有關，其效率一般可達90% 以上。