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光氧催化廢氣凈化器備主要利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射廢氣，裂解工業廢氣如：氨、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、乙酸丁酯、乙酸乙酯、二甲二硫、二硫化 碳和苯乙烯、硫化物H2S,VOC類、苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結構，使有機或無機高分子惡臭化合物的分子鏈在高能紫外線的光束的照射下降解轉變成低分子 化合物，如CO2和H2O等。利用高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子及水分子產生游離氧（活性氧）和OH自由基，因游離氧和所攜正負電子不平衡 所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。UV+O2---O_+O*(活性氧)+O2---O3（臭氧），*臭氧對有機物具有*的氧化作用，對工業廢 氣及其它刺激性異味有*的清除效果。
另外通過添加特制催化劑：根據不同的廢氣成分配置27種以上相對應的惰性催化劑，催化劑采用蜂窩狀金屬網孔作為載體，全*位與光源接觸，惰性催化劑在338 納米光源以下發生催化反應，放大10-30倍光源效果，使其與廢氣進行充分反應，縮短廢氣與光源接觸時間，從而提高廢氣凈化效率。
催化劑還具有類似于植物光合作用，對廢氣進行凈化的效果。通過特定波長光線照射，激活納米光催化劑，生成電子空穴對，使光催化劑與周圍的H2O分子O2分子 發生作用，結合生成氫氧自由基OH，通過氫氧自由基層層鎖住空氣中各種有害成分，分解有害分子結構構造，抑制細菌生長和病毒的活性能力，從而達到殺菌、空 氣凈化、除臭、防霉、消除污染的目的。工業廢氣利用排風設備輸入到本凈化設備后，凈化設備運用高能UV紫外線光束及臭氧對工業廢氣進行協同分解氧化反應， 使工業廢氣降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通過拜見管道排出室外。利用高能UV光束裂解工業廢氣中細菌的分子鍵，破壞細菌核酸（DNA）,再通 過臭氧進行氧化反應，*達到凈化及殺滅細菌的目的。從凈化空氣效率考慮，我們選擇了C波段紫外線和臭氧結合高電暈電流裝置，采用脈沖電暈吸附技術相結合 的原理對有害氣體進行消除，其中C波段紫外線主要用來去除硫化氫、氨、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、乙酸乙酯、乙烷、丙酮、尿烷、樹脂等有機氣體，使有機物轉 變為無機物。