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RCO催化燃燒廢氣處理設備的組成部分包括阻火器、熱交換器、催化反應床、風機等。與直接燃燒相比，催化燃燒的溫度相對較低。催化燃燒廢氣處理設備用的是表面具有貴金屬和金屬氧化物的催化劑，將有機污染物的廢氣在催化劑的作用下，可以在較低的溫度下將廢氣中的有機污染物氧化成二氧化碳和水。但是催化劑的加入僅是改變化學反應的速度，而催化劑本身的性質并不發生變化。

催化燃燒廢氣處理設備操作方便，設備工作時，實現自動化控制。而且能耗低，設備啟動升溫至起燃燒溫度，有機廢氣濃度較高時耗能僅為風機功率，換熱器主要是利用催化反應放出熱量，加熱進氣，提高熱能利用率，減少加熱電能，預熱室由電熱管加熱，使進氣溫度達到催化反應條件。

催化燃燒廢氣處理設備安全可靠，配有阻火系統、防爆泄壓系統、超溫報警系統及自控系統。阻火過濾器可阻止火焰通過，過濾掉氣體中較大污物，是催化燃燒設備的裝置之一，催化燃燒廢氣處理設備了防爆器，當設備運行發生意外事故時，可及時裂開泄壓，防止意外事故發生。設備上配套了兩個溫度控制點，監控電加熱溫度和有機氣體氧化分解溫度。

催化燃燒廢氣處理設備阻力小，凈化效率，采用當今的貴金屬鈀、鉑浸漬的蜂窩狀陶瓷載體催化劑，比表面積大。另外還有就是余熱可回用，這樣降了消耗功率，當然也能做其它方面的熱源。

催化燃燒廢氣處理設備占地面積比較小，且設備基礎沒有特殊要求。使用壽命長也是比較突出的一個優點，催化床由多層蜂窩狀催化劑組成，為催化燃燒廢氣處理設備裝置的核心，催化劑一般4年更換，并且載體可再生。