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本資料給出的參數符合GB/T3505-2000《產品幾何技術規范表面結構 輪廓法 表面結構的述語、定義及參數》、符合GB/T6062-2002《產品幾何量技術規范（GPS）表面結構 輪廓法接觸（觸針）式儀器的標稱特性》。
圖一：放大n倍后的工件截面/表面粗糙度及輪廓：
圖二：各種加工方法能得到的表面光度：
圖三：常見的表面粗糙度儀的工件測量：
表面粗糙度關鍵技術術語：
(1)表面粗糙度： 取樣長度L
取樣長度是用于判斷和測量表面粗糙度時所規定的一段基準線長度，它在輪廓總的走向上取樣。
(2)表面粗糙度： 評定長度Ln
由于加工表面有著不同程度的不均勻性，為了充分合理地反映某一表面的粗糙度特性，規定在評定時所必須的一段表面長度，它包括一個或數個取樣長度，稱為評定長度Ln。
(3)表面粗糙度： 輪廓中線（也有叫曲線平均線）M
輪廓中線M是評定表面粗糙度數值的基準線。
評定參數及數值:
國家規定表面粗糙度的參數由高度參數、間距參數和綜合參數組成。
表面粗糙度高度參數共有三個:
(1)輪廓算術平均偏差Ra ： 
在取樣長度L內，輪廓偏距值的算術平均值。
(2)微觀不平度十點高度Rz
在取樣長度L內大的輪廓峰高的平均值與五個大的輪廓谷深的平均值之和。
(3)輪廓大高度Ry
在取樣長度內，輪廓峰頂線和輪廓谷底線之間的距離。
表面粗糙度間距參數共有兩個：
(4)輪廓單峰平均間距S
兩相鄰輪廓單峰的高點在中線上的投影長度Si，稱為輪廓單峰間距，在取樣長度L內，輪廓單峰間距的平均值，就是輪廓單峰平均間距。
(5)輪廓微觀不平度的平均間距Sm
含有一個輪廓峰和相鄰輪廓谷的一段中線長度Smi，稱輪廓微觀不平間距。
表面粗糙度綜合參數：
(6)輪廓支承長度率tp
輪廓支承長度率就是輪廓支承長度np與取樣長度L之比。
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