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維氏硬度試驗法為英國的R.Smith和G..Sandland在1925年所發表，于1930年始發現其有利于測試氮化鋼的表面硬化層之硬度，因此才漸漸廣泛使用于工業界。此法包括布氏及洛氏試驗之特征，安裝有計測顯微鏡，量取壓痕對角線長度，可測至1μm，準時又方便。表示硬度時，把硬度記號HV。 維氏實驗步驟： 將硬度計調整至準備狀態。 徐徐旋轉手輪上升砧座，直至試驗面與壓痕器之間維持在0.1～0.3mm程度為止。 轉動記測顯微鏡，使物鏡對正試片中心位置。 調整目鏡中之基準線，使計測顯微鏡的目鏡對準試驗面的焦點。試驗面的中心位置需離已有的壓痕中心4d以上，而離試片邊緣2.5d以上。 再度將壓痕器轉動正于試片中心位置。按下啟動桿由于凸輪及重錘之作用而產生壓痕。 旋轉手輪降下砧座 轉動計測顯微鏡至試片時，由目鏡觀察試片壓痕輪廓，并以砧座之升降，調整教具使壓痕清晰。 測定對角線長度，再于90度方向測定另一長度。求兩者平均值。 查表得硬度值。
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