反滲透+混床超純水設備系統是現代電子工業，如：半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業、大規模、超大規模集成電路等行業制備純水、超純水zui常用、*的系統工藝。
一、現代工業用純水的分類

    工業純水處理設備主要用于工業用水的凈化處理，使工業用水達到或超過國家或行業標準，保證工業用水質量。操作方式：手動控制或全自動控制。

    各種工業用水，按其使用方式可分為直接用水和間接用水兩大類。直接用水，系要求優良的水質；間接用水，對產品質量一般沒有影響，出于防腐和防垢等的要求不同，而需要采用不同的水質。
1、原料用水。原料用水是指直接作為原料或作為原料的一部分而使用的水。在飲料、食品加工工業中，水質對產品質量影響較大，的水質應無色、無味、無濁，鹽類含量適當，氨、氮、亞硝酸鹽、細菌等則要求優質的純水。 
2、產品處理用水。指在生產過程中用作洗滌、漂染、打漿等，故也要求較好的水質。其水質要求大致與原料用水相同。電子工業等用水則要求優質的純水。 
3、鍋爐用水。由于水的硬度高會使鍋爐內結垢，致使鍋爐熱效率降低；溶解氧和鹽類會引起鍋爐及管路的腐蝕；因此，鍋爐對水的硬度、含鹽量、堿度、等均有嚴格的指標要求。 
4、冷卻用水。冷卻用水的作用是冷卻熱介質，所以防止其腐結垢和微生物危害是冷卻水處理的三大任務。因此，冷卻水的水質，對硬度、懸浮物、溶解氣體、油及其它有機物、藻類及微生物等都應嚴格控制。

三、電子工業用超純水特點
 
在現代電子工業高速發展的今天，工業生產對用水的要求也非常高。如半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業、大規模、超大規模集成電路等行業就需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，對水質的要求也越高。目前我國電子工業部把電子級水質技術分為五個行業標準，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區分不同水質。 

四、幾種常用的超純水制取工藝

     1、采用兩級反滲透制取超純水工藝；
     2、采用反滲透+離子交換法制取超純水工藝；
     3、采用反滲透+EDI法制取電子工業超純水工藝 ；

     而采用反滲透+混床離子交換系統工藝是現代電子行業工業生產用純水、超純水zui常用的生產工藝。

五、電子工業用超純水系統幾種常用的工藝流程 
電子行業制備超純水的工藝大致分成以下幾種：
1、采用離子交換樹脂制備超純水的傳統水處理方式，其基本工藝流程為：原水池→原水增壓泵→砂濾→炭濾→軟水器→精密過濾器→中間緩沖水箱→增壓泵→陽床→陰床→混床（復床）→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點。
2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合的方式，其基本工藝流程為：原水池→原水增壓泵→砂濾→炭濾→軟水器→精密過濾器→中間緩沖水箱→反滲透設備→增壓泵→混床（復床）→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點。
3、采用反滲透水處理設備+EDI電除離子設備進行搭配的的方式，這是一種制取超純水的工藝，也是一種環保，經濟，發展潛力巨大的超純水制備工藝，其基本工藝流程為：原水池→原水增壓泵→砂濾→炭濾→軟水器→精密過濾器→中間緩沖水箱→反滲透設備→RO水箱→增壓泵→EDI設備→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點。 

六、電子工業超純水設備特點
電子工業超純水設備通常由多介質過濾器，活性碳過濾器，鈉離子軟化器、精密過濾器等構成預處理系統、RO反滲透主機系統、離子交換混床（或EDI電除鹽系統）系統等構成主要設備系統。原水箱、中間水箱、RO純水水箱、超純水水箱均設有液位控制系統、高低壓水泵均設有高低壓壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，真正做到了無人值守，同時在工藝選材上采用*和客戶要求相統一的方法，使該設備與其它同類產品相比較，具有更高的性價比和設備可靠性。

七、電子工業用超純水的應用領域
1、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水；  
    2、超純材料和超純化學試劑勾兌用超純水；
    3、實驗室和中試車間用超純水；
    4、汽車、家電表面拋光處理；
    5、光電子產品；
    6、其他高科技精微產品。

關鍵詞：反滲透 混床