管式真空爐是在原有管式爐的基礎上,增加真空系統,得到高潔凈腔體,提供清潔無雜質的高真空狀態,加熱溫度均勻且能夠精確控制,特別適用于半導體器件或其他對環境要求高的材料的退火工藝,工件質量優良,成品率高。
設備特點:
1、外形美觀,占地面積小
2、采用高精度、多功能溫控儀,可自動調節與修改PID參數,存儲控溫曲線并可隨時修改、刪除以及重新設定,操作簡單方便
3、具備多項故障顯示,報警及連鎖保護功能
4、爐體可以移動推拉,以加速低溫段的降溫
應用范圍:
用于陶瓷電路、傳感器燒結及退火處理、永磁合金制造、真空釬焊、真空除氣、金屬材料的無氧化光亮熱處理等工藝。
技術參數:
產品名稱 | 管式真空爐 |
產品型號 | KJ-T1100-LZ-1R |
溫度 | 1100℃ |
工作溫度 | 1000℃ |
物料尺寸 | 2~8英寸圓片或方片 |
恒溫區長度 | 400~800mm |
恒溫區精度 | ≤±0.5℃(600~1000℃),≤±1℃(300~600℃) |
升溫速率 | 10℃/min |
極限真空度 | ≤5×10-3Pa |
氣路系統 | 氧氣、氮氣、氬氣 |
更多參數要求可根據要求來定制 |
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