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廣電計量檢測集團股份有限公司

紅外氣體傳感器 半導體行業薄膜沉積工藝

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱四方光電(武漢)儀器有限公司
  • 品       牌四方儀器
  • 型       號Gasboard-2
  • 所  在  地武漢市
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間2025/5/27 10:53:19
  • 訪問次數253
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  四方光電(武漢)儀器有限公司(以下簡稱“四方儀器”)為四方光電股份有限公司(代碼688665)的全資子公司,成立于2010年,是一家專業提供氣體成分及流量測量方案的高新技術企業,服務于環境監測、過程氣體監測、智慧計量等領域。
  基于四方光電核心氣體傳感技術平臺的優勢,四方儀器開發了系列非分光紅外(NDIR)、紫外差分吸收光譜(UV-DOAS)、激光拉曼(LRD)、超聲波(Ultrasonic)、熱導(TCD)、光散射探測(LSD)等技術原理的氣體成分流量儀器儀表,產品廣泛應用于環境監測、冶金、煤化工、生物質能源等各個行業,在節能減排中發揮重要作用。四方儀器自主研發生產的便攜式紅外沼氣分析儀、微流紅外煙氣分析儀、紅外煤氣分析儀曾相繼獲得國家重點新產品證書,紅外煤氣分析儀獲得中國儀器儀表學會優.秀產品獎榮譽,其核心技術獲得湖北省發明ZL金獎。四方儀器“微流紅外煙氣傳感器研究及產業化”獲得工信部2019年工業強基工程重點“產品、工藝”應用計劃示范項目,公司獲得應用計劃示范企業。
  四方儀器憑借長期的技術沉淀、嚴格的質量體系及國.際化視野,產品已出口多個國家和地區,正在朝著氣體分析儀器儀表增值應用領域的優秀品牌邁進。






煙氣分析儀,尾氣分析儀,煤氣分析儀,過程氣體分析儀,沼氣分析儀,紅外氣體分析儀,燃燒效率分析儀,溫室氣體分析儀,二氧化碳分析儀,氣體檢測儀
輸出信號 其他 線性度 ±1%F.S
制作工藝 其他 重復性 ±0.5%F.S
檢測原理 NDIR 檢測氣體 WF6、CF4、SF6、NF3、CO2
量程 1~264ppm(0~200mTorr)
紅外氣體傳感器 半導體行業薄膜沉積工藝是由四方儀器自主研發的高性能氣體傳感器,產品基于非分光紅外技術(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內常見預留尺寸、法蘭和通訊協議,可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節約成本,提高產量。
紅外氣體傳感器 半導體行業薄膜沉積工藝 產品信息

紅外氣體傳感器 半導體行業薄膜沉積工藝


產品名稱:紅外氣體傳感器

產品型號:Gasboard-2061


紅外氣體傳感器產品概述

紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發的高性能氣體傳感器,產品基于非分光紅外技術(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內常見預留尺寸、法蘭和通訊協議,可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節約成本,提高產量。


紅外氣體傳感器產品特性

(1)使用NDIR技術,多氣體監測支持(SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

(2)響應時間快,高靈敏度

(3)無耗材

(4)模擬/數字通信

(5)模塊化設計,便于集成


紅外氣體傳感器技術參數


檢測原理NDIR
檢測氣體WF6、CF4、SF6、NF3、CO2
量程1~264ppm(0~200mTorr)
重復性±0.5%
線性±1%F.S.
檢測限1ppm








應用領域

半導體行業薄膜沉積工藝CVD設備的EPD氣體檢測

關鍵詞:傳感器
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