產品介紹
35年來，我們一直在為光學涂層和等離子體蝕刻行業開發現場監測和控制儀器。Intellemetrics推出了一系列晶圓視覺系統，專門設計用于在負載鎖定真空蝕刻和沉積室內觀察圖案化晶圓，以檢查是否已加載正確的晶圓，并確認相對于掩模圖案的對齊和放置。圖像分辨率取決于工作距離和視場，但通常在5mm的工作距離（適用于ICP蝕刻和沉積室）和600mm視場下可以獲得7μm的分辨率。
性能特點
- 5 M 像素高分辨率相機圖像
- 共線晶圓照明
- 成像距離從100mm到1000mm
- 可見特征尺寸低至 5um
- 手動和電動對焦選項
技術參數
- 產地：英國
- 攝像頭：
- 傳感器類型：CMOS
- 傳感器尺寸：5像素，2560 x 1920像素
- 像素大小：2.2um
- 電源要求：
- 接口：GigE
- 電源：12至24 Vdc
- 功耗：3.5W
- 是否進口：是
- 封裝：廠家制定
- 性能：良好
- 可靠性：高
產品參數
