一、簡介

FT-NMT04是一個多功能的原位SEM/FIB納米力學測試系統，能夠準確地量化材料在微米和納米尺度上的力學行為。作為基于MEMS傳感器的納米壓痕，FT-NMT04是基于FemtoTools微機電系統（MEMS）技術。利用二十多年的技術創新，這種原位納米壓痕具有超高的分辨率、可重復性和動態響應。

FT-NMT04為金屬、陶瓷、薄膜以及超材料和MEMS等微結構的力學測試而優化。此外，通過使用各種附件，FT-NMT04的力學測試能力可以擴展到各個研究領域的多功能要求。

二、 功能

• 功能特點：

納米壓痕、壓縮、拉伸、斷裂和疲勞測試

基于MEMS的傳感技術實現了超高的分辨率和重復性，力從0.5 nN到200 mN，位移從0.05 nm到21 mm。

能夠進行連續剛度測量（CSM）或高達500Hz的疲勞測試，而不需要復雜的動態校準

真正的位移控制測試，使快速應力下降的量化成為可能（也可以選擇基于力反饋的力控制測量）。

3或4軸（x、y、z、旋轉），閉環傳感器，使用所有軸上的位置編碼器對準樣品

高溫測試，可高達800°C

能夠將樣品依次對準納米壓頭、電子束和EBSD檢測器，以評估特定晶粒和位置的硬度（僅適用于4軸配置）。

簡單確定壓頭面積函數和框架順應性

強大的數據分析工具來評估測量結果，并應用配合或函數來計算材料屬性

SEM樣品臺支架使系統能在SEM腔內快速安裝和拆卸

緊湊的模塊化設計使其能夠集成到幾乎所有的SEM中

可定制的測量程序和原理

• 技術參數：

力傳感器

- Max：200 mN

- 本底噪聲：0.5 nN（在10 Hz）。

- 測量頻率可達96 kHz

位移傳感（粗略的）

- 位移范圍：21毫米

- 位移本底噪聲：1 nm (在10 Hz)

- 測量頻率：50 Hz

位移傳感（精細）

- 位移范圍：25 μm

- 位移本底噪聲：0.05 nm (10 Hz時)

- 測量頻率可達96 kHz

3軸和4軸力傳感器對準樣品

- X、Y、Z閉環定位范圍：21mm x 12mm x 12 mm

- X、Y、Z閉環定位本底噪聲：1納米

- 樣品旋轉范圍： 360°

三、 應用

典型的應用包括通過微柱壓縮測試或狗骨試樣拉伸測試、薄膜或納米線來量化塑性變形機制。此外，在壓縮測試中的連續剛度測量可以量化微梁斷裂測試中的裂紋生長和斷裂韌性。由于FT-NMT04具有低本底噪音（500pN和50pm），FT-NMT04可以實現可重復性的低位移納米壓痕，以及與EBSD圖譜好的關聯性。