ohtama主動磁屏蔽 磁場消除器CA-4000的介紹
ohtama主動磁屏蔽 磁場消除器CA-4000的介紹
近年來，電子束設備的性能有了顯著提高，但另一方面，允許的磁場也越來越嚴格。主動式磁屏蔽（磁場消除器）通過3軸磁場控制器以高靈敏度檢測干擾的波動磁場，通過由XYZ 3軸組成的亥姆霍茲線圈產生抵消它的磁場，并抑制磁場線圈內部的磁場波動。用于控制和穩定線圈的磁場發生器 通過引入該產品，即使在磁環境非常不穩定的地方，也可以充分展示電子束設備的性能。
也可以將抵消線圈安裝在設備的框架上。半導體測量和檢測設備無需占用大的安裝面積。
現場安裝迅速
?不損害電子束系統的操作性
·低成本
?絕美
?均碼可用
（消除線圈可以安裝在設備的框架上）
コイル設置方法は、建物埋め込み型、チャンバー內設置型、後施工（現場設置）の3通りがあります。
| 獨立型 CA-4000 | 低ノイズ型 CA-3200 | |
|---|---|---|
| 用途 | SEM/3Dプリンタなど | シールドルーム內 |
| 対応周波數 | 0Hz～1kHz | 0Hz～720Hz |
| 最大対応変動磁界 | 150mG（15μT） | 50mG（5μT） |
| 減衰率 | 最大60dB | 最大60dB |
| 制御範囲 | ± 150 μT | ±70μT |
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