賽默飛增強型鎖相熱發射顯微鏡在半導體領域的應用
♦ ELITE (增強型鎖相熱發射顯微鏡) ，鎖相熱發射顯微鏡如今已成為高等電性故障分析流程中的技術手段。有缺陷的或表現不佳的半導體器件...
- JEM-3200FS場發射電子顯微鏡配備了加速電壓為300kV的場發射電子槍（FEG）和鏡筒內置式Ω型能量過濾器，能為廣泛的研究領域提供各種全新的解決方案。
- 鏡筒內置式Ω型能量過濾器(omega 過濾器)
- 鏡筒內置式Ω型能量過濾器內置于成像透鏡系統，能容易地獲得能量過濾像和能量損失譜，同時還能獲得與傳統電子顯微鏡同等的放大倍率范圍。此外、Ω型過濾器的電子光學系統在設計上地減少了圖像畸變，出廠前還將剩余一點的畸變做了最后的修正。JEM-3200FS還采用了高靈敏度的相機系統及圖像處理系統（選配件），可以構建元素面分布系統及能量損失譜系統。
- 新型控制系統
- 電子槍、電子光學系統、測角臺、抽真空系統等電子顯微鏡基本功能的系統化，實現了高穩定、高性能的控制系統。圖像畫面和用戶界面采用Windows ®*1，可以進行編程操作和附件的集中控制。
- 新型測角臺
- 系統化的新型測角臺內置壓電陶瓷驅動機構，使高倍率下的樣品移動更加精確。*2.
- *1 : 注意事項：Windows是微軟公司在美國和其他國家的注冊商標。
*2 : 僅有壓電元件包括在基本單元中，壓電元件的電源為選配件。
