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廣電計量檢測集團股份有限公司

燃燒式Scrubber特氣尾氣處理裝置

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱深圳沃飛科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2022/10/28 17:57:13
  • 訪問次數652
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深圳沃飛科技有限公司成立于2011年,公司注冊資金2180萬,是一家專業從事氣體應用系統 工程:電子特氣系統、實驗室氣路系統、工業集中供氣系統、大宗氣體(液體)系統、高純氣 體及特殊工藝氣體二次配管系統、化學品輸送系統、純水系統,提供從技術咨詢、整體規劃、 系統設計、選定設備、預制組件、項目現場安裝建設、整體系統檢測等全套工程技術服務和配 套產品于—體的;榮獲“國家”認定并取得證書。工程項目覆蓋半導體、集成電路、光電、新能源、微電子、生物醫藥、科研所、標準檢測等高 科技行業;為客戶提供高純介質輸送系統全套解決方案與全國各大院??蒲兴献餮邪l的多個 國家重點實驗室項目,并取得了可喜的成績。同時公司具有國家建筑機電安裝工程專業承包資質、GC2管道設計安裝資質,旗下有奧飛克 AFKR、Afklok&、沃飛⑧等行業品牌;公司自主研發生產的GC特氣柜、GR特氣架、 VMB閥門箱、VMP閥門盤、氣體混配器、氣體全/半自動切換裝置、氣體減壓器、管件接頭、 閥門儀表等產品于中國大陸和26個地區和國家,并獲得了多項國家發明,為了追 求更好品質并給客戶提供更高更安全的技術,嚴格按照ISO9001標準執行各項管理。經過多年的快速發展,公司現有各類專業技術人員60余人,其中:設計、研發、工程人員20 余人;管道工、電工、焊工、通風工、設備安裝工等20余人。廠房面積2500m2,其中辦公 區域面積500m2,生產車間面積2000m2;旗下子公司有西安辦事處(負責華西業務),武漢 子公司(負責華中業務)以及香港子公司(負責海外進出口貿易)。
燃燒式Scrubber特氣尾氣處理裝置處理氣體種類可處理氣體種類包括半導體、液晶以及太陽能等行業中蝕刻制程與化學氣相沉積制程中使用的特氣,主要包括SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。
燃燒式Scrubber特氣尾氣處理裝置 產品信息

燃燒式Scrubber特氣尾氣處理裝置

一.主要特點

1. 獨立燃燒方式,燃燒之火焰渦流:可燃性毒性氣體從低濃度至99%濃度均可用高溫處理;

2. SiH4與NF3、NO2同時燃燒:SiH4與NF3、NO2可以同時于燃燒室中一起 燃燒;

3. 基本功能之安全設計:異常情況發生時,診斷機能會自動安全處理;

4. 使用刮刀方式,粉塵處理容易:燃燒室內部之附著粉塵,可使用獨立之刮刀容易且確實地清除;

5. H2、LPG、天然瓦斯(LPG)各種型式:燃料氣體可使用H2、LPG、天然瓦斯(LPG)3 種型式;

6. 保養簡單:保養可在極短的時間內完成,費用也低廉;

7. 高信賴性:構造簡單且零件數少,值得高度信賴。

二.燃燒式Scrubber特氣尾氣處理裝置處理氣體種類

可處理氣體種類包括半導體、液晶以及太陽能等行業中蝕刻制程與化學氣相沉積制程中使用的特氣,主要包括SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。

三.燃燒式Scrubber特氣尾氣處理裝置處理原理

1. 冷卻空氣之一部份在燃燒室內形成火焰渦流,制程氣體會卷入燃燒;

2. Guardian之火焰渦流可將SiH4等氣體,破壞其氣泡產生;

3. 冷卻空氣在機臺內部循環,燃燒室外部使用空氣冷卻。并可使排氣溫度冷卻下降,而且可將燃燒后之氧化物排出等多樣功能;

4. 熱電對之安全裝置,可監視燃燒室溫度、排氣溫度、Process Gas導入管溫度。另外Photo sensor可監視熄火,差壓計可檢視排氣風量。

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