SI6000激光干涉儀介紹：
SI6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
1、可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；
2、可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
3、可實(shí)現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)；
4、可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；
5、具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；
6、支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
SI6000激光干涉儀優(yōu)點(diǎn)：
SI6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。
SI6000激光干涉儀線性測量：
SI6000主機(jī)、EC20環(huán)境補(bǔ)償單元、線性鏡組、SI6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成，可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測量。其中，線性測量包括定位精度測量、重復(fù)定位精度測量和設(shè)備反向間隙測量等。
線性測量
測量距離：(0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件)
測量精度：0.5ppm (0~40)℃
測量分辨力：1nm
測量速度：4m/s
SI6000激光干涉儀角度測量：
角度反射鏡旋轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生轉(zhuǎn)角，或是移動過程中產(chǎn)生角擺，兩束反射光會有相對應(yīng)的光程差產(chǎn)生，SI6000采集到該光程差的干涉信號，經(jīng)過運(yùn)算處理，即可得出對應(yīng)的角度值
角度測量
軸向量程：(0~15)m
測量范圍：±10°
測量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m)
測量分辨力：0.1″
SI6000激光干涉儀直線度測量：
直線度干涉鏡在移動過程中產(chǎn)生橫向或縱向位移時(shí)，兩束反射光會有相對應(yīng)的光程差產(chǎn)生，SI6000采集到該光程差的干涉信號，經(jīng)過運(yùn)算處理，即可得出對應(yīng)的直線度值。
直線度測量
| 軸向量程 | 測量范圍 | 測量精度 | 分辨力 |
| 短距離 | (0.1~4.0)m | ±3mm | ±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm 0.01μm |
| 長距離 | (1.0~20.0)m | ±3mm | ±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm 0.1μm |
注：R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m
SI6000激光干涉儀平面度測量： 平行度測量是在直線度測量的基礎(chǔ)上而擴(kuò)展的應(yīng)用。平行度測量由平行軸的兩組直線度測量組成，參見下面平行度測量光路原理構(gòu)件圖，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準(zhǔn)，在測量過程中保持原位，且不進(jìn)行調(diào)整。由第1運(yùn)動軸的斜度θ1中減去第2運(yùn)動軸的斜度θ2，即可得出平行度＝θ1－θ 平面度測量 軸向量程：(0~15)m 測量范圍：±1.5mm 測量精度：±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m) 基板尺寸：180mm可調(diào)，360mm可調(diào) 測量分辨力：0.1μm SI6000激光干涉儀垂直度測量： 垂直度的測量是直線度測量在二維方向上的延伸。垂直度測量由正交軸的兩組直線度測量組成，詳見下面垂直度測量光路原理構(gòu)件圖，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準(zhǔn)，在測量過程中保持原位，且不進(jìn)行調(diào)整；光學(xué)角尺用于至少在其中一次直線度測量中，允許調(diào)整激光束與軸的準(zhǔn)直。垂直度誤差＝光學(xué)直角尺誤差－斜度θ1－斜度θ2。 垂直度測量 軸向量程 測量范圍 測量精度 分辨力 短距離 (0.1～3.0)m ±3/M mm/m ±(2.5+0.25%R+0.8M) μm/m 0.01μm/m 長距離 (1.0～15.0)m ±3/M mm/m ±(2.5+0.25%R+0.8M) μm/m 0.01μm/m 注：R為垂直度結(jié)果；M為測量距離，單位：m SI6000激光干涉儀技術(shù)參數(shù)： 主機(jī) 穩(wěn)頻精度：0.05ppm 動態(tài)采集頻率：50 kHz 預(yù)熱時(shí)間：≤ 6分鐘 工作溫度范圍：(0~40)℃ 存儲溫度范圍：(-20~70)℃ 環(huán)境濕度：(0~95)%RH 環(huán)境補(bǔ)償單元 空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃ 材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃ 空氣濕度傳感器：±5%RH (0~95)%RH 大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa 角度測量范圍：(0~360)° 測量精度：±1″ 分辨力：0.1″ 轉(zhuǎn)速：10rpm 跟蹤速度：2rpm 重量：1.9kg 高度：148mm 直徑：112mm 通信方式：藍(lán)牙傳輸 供電方式：鋰電池 正交觸發(fā)盒 信號輸入：差分TTL(RS422)正交編碼信號、10μApp微電流信號 輸出形式：10μs脈沖 觸發(fā)延時(shí)：0.1μs 供電電源：12VDC 尺寸重量與供電 便攜箱尺寸：613mm×460mm×230mm 標(biāo)準(zhǔn)配置重量：18kg 供電電源：(100~240)VAC 
SI6000激光干涉儀配置清單：
| 序號 | 名稱 | 明細(xì) | 備注 |
| 1 | SI6000主機(jī) | 1臺，配云臺、電源適配器 | 標(biāo)配 |
| 2 | 通用三腳架 | 1個(gè)，配便攜包 | |
| 3 | 筆記本電腦 | 1臺，配測量軟件 | |
| 4 | 環(huán)境補(bǔ)償單元 | 環(huán)境補(bǔ)償主機(jī)：1個(gè)，內(nèi)置空氣濕度和大氣壓力傳感器 | |
| 空氣溫度探頭：1個(gè)，線長5米 | |||
| 材料溫度探頭：3個(gè)，線長5米 | |||
| 5 | 標(biāo)配附件 | USB線：2根 | |
| 磁性表座：2個(gè) | |||
| 安裝柱：4節(jié) | |||
| 輔助安裝塊：1塊 | |||
| 水平儀：1個(gè) | |||
| 6 | 線性鏡組 | 線性干涉鏡、線性反射鏡，各1個(gè)，夾緊孔座2個(gè) | |
| 7 | 便攜式拉桿箱 | 1個(gè)，外尺寸：613mm×460mm×230mm | |
| 8 | 線性附件 | 三坐標(biāo)測頭夾具：1套 | 選配 |
| 9 | 輕型線性鏡組：小角錐反射鏡、縮光鏡，各1個(gè) | 選配 | |
| 10 | 可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡：1個(gè) | 選配 | |
| 11 | 角度鏡組 | 角度干涉鏡、角度反射鏡，各1個(gè) | 選配 |
| 12 | 平面度鏡組 | 180mm、360mm可調(diào)基板，各1個(gè)，平面度旋轉(zhuǎn)鏡2個(gè) | 選配 |
| 13 | 短直線度鏡組 | 短距離直線度干涉鏡、短距離直線度反射鏡，各1個(gè) | 選配 |
| 14 | 長直線度鏡組 | 長距離直線度干涉鏡、長距離直線度反射鏡，各1個(gè) | 選配 |
| 15 | 直線度附件 | 大角錐反射鏡、90度轉(zhuǎn)向鏡、直線度底座、M8接頭，各1個(gè) | 選配 |
| 16 | 垂直度鏡組 | 光學(xué)直角尺、90°轉(zhuǎn)向鏡輔助安裝塊，各1個(gè) | 選配 |
| 17 | 自動精密轉(zhuǎn)臺 | 1臺，配卡盤、USB數(shù)據(jù)線、USB電源適配器、藍(lán)牙工具 | 選配 |
| 18 | 正交觸發(fā)盒 | 1臺，配電源適配器、觸發(fā)數(shù)據(jù)線 | 選配 |
| 19 | 工作服 | 夏、冬實(shí)驗(yàn)室工作服，各1件 | 選配 |
