等離子廢氣凈化器在廢氣處理工程中的應用較為廣泛，其主要工藝流程主要由氣體收集系統—預處理噴淋洗滌系統—低溫等離子凈化系統—氣體吸附催化系統—排放系統—控制系統氣體收集系統六大部分組成。

等離子廢氣凈化器主要是將構筑物自由揮發的氣體收集起來并輸送到后續處理系統，具體包括氣罩系統、管道輸送系統和風機。

等離子廢氣凈化器工作原理：

廢氣處理中洗滌系統用來和廢氣在洗滌塔內進行預處理化學反應，去處粉塵且通過化學反應后的氣體達到廢氣   凈化處理，具體包括填料、噴淋裝置、脫水層、風機、加藥系統等。

低溫等離子凈化器內部裝有   的碰吸單元，截留去除廢氣中的顆粒物質，廢氣收集系統收集的多元素氣體經過等離子活性氧凈化裝置，在高壓等離子電場的作用下，電離初始態氧將其中的廢氣離子進行電離荷電凈化，帶電的微小離子(塵埃粒子)被吸附單元所收集并流入和沉積到氣體處理裝置的儲塵箱內，氣體內的氣體被電場內所產生的臭氧所，并去除了異味，氣體被除掉,達到廢氣處理的目的。

吸附催化凈化處理裝置是一種干式廢氣處理設備。由箱體和裝填在箱體內的吸附單元組成，吸附單元根據廢氣處理要求添加催化劑達到進一步去處異味氣體的目的?？刂葡到y主要用來控制系統開機、停運，并對系統運行效果進行檢測，反饋系統的運行狀態和技術參數，從而使設備處于良好運行狀態，實現無人值守。

低溫等離子體技術處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子   物質，或使物質轉變成   或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev ，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得。作為環境污染處理中的一項具有潛在優勢的高，等離子體受到了相關學科界的高度關注。

低溫等離子體技術在廢氣處理中的應用隨著工業經濟的發展，石油、制藥、油漆、印刷和涂料等行業產生的揮發性廢氣也日漸增多，這些廢氣不僅會在大氣中停留較長的時間，還會擴散和漂移到較遠的地方，給環境帶來嚴重的污染，這些廢氣吸入人體，直接對人體的健康產生   的危害；另外工業煙氣的無控制排放使性的大氣環境日益惡化，酸雨(主要來源于工業排放的硫氧化物和氮氧化物) 的危害引起了各國的重視。由于大氣受污染而酸化，導致了生態環境的破壞，重大災難頻繁發生，給人類造成了巨大損失。因此選擇一種經濟、可行性強的處理方法勢在必行。

降解揮發性污染物(VOCs)傳統的處理方法如吸收、吸附、冷凝和燃燒等，對于低濃度的VOCs很難實現，而光催化降解VOCs又存在催化劑容易失活的問題，利用低溫等離子體處理VOCs可以不受上述條件的限制，具有潛在的優勢。但由于等離子體是一門包含放電物理學、放電化學、化學反應工程學及真空技術等基礎學科之上的交叉學科。因此, 目前能成熟的掌握該技術的單位非常的少。大部分宣傳采用低溫等離子技術處理廢氣的宣傳都不是   意義上的低溫等離子廢氣處理技術。