低溫等離子廢氣凈化器作用還具備顯著的生物效應。發作的靜電作用在各種細菌、病毒等微生物外表產生的電能剪切力大于細胞膜外表張力，使細胞膜遭到毀壞，招致微生物死亡。因而低溫等離子體除臭技術具有的消毒殺菌之成效。

低溫等離子廢氣凈化器在廢氣處置工程中的應用較為普遍。

氣體搜集系統—預處置噴淋洗濯系統—低溫等離子凈化系統—深度氣體吸附催化系統—排放系統—控制系統氣體搜集系統主要是將構筑物自在揮發的氣體搜集起來并保送到后續處置系統。詳細包括氣罩系統、管道保送系統微風機。

低溫等離子廢氣凈化器內部裝有的碰吸單元，截留去除廢氣中的顆粒物質，廢氣搜集系統搜集的多元素氣體經過等離子活性氧凈化安裝，在高壓等離子電場的作用下，電離初始態氧將其中的廢氣離子停止電離荷電凈化，帶電的微小離子(塵埃粒子)被吸附單元所搜集并流入和堆積到氣體處置安裝的儲塵箱內，氣體內的有害氣體被電場內所產生的臭氧所殺菌，并去除了異味，有害氣體被除掉,到達廢氣處置的目的。

低溫等離子廢氣凈化器其凈化作用機理包含兩個方面：一是在產生等離子體的過程中，高頻放電所產生的霎時足夠翻開一些有害氣體分子的化學能，使之合成為單質原子或無害分子；二是等離子體中包含大量的電子、正負離子、激起態粒子和具有強氧化性的自在基，這些活性粒子和局部臭氣分子碰撞分離，在電場作用下，使臭氣分子處于激起態。當臭氣分子取得的能量大于其分子鍵能的分離能時，臭氣分子的化學鍵斷裂，直接合成成單質原子或由單一原子構成得無害氣體分子。同時產生的大量?OH、?HO2、?O等活性自在基和氧化性的O3，與有害氣體分子發作化學反響，終生成無害產物。

等離子體中的電子可使電負性高的氣體分子（如氧分子、氮分子）帶上電子而成為負離子，它具有許多良好的安康效應，對人體及其他生物的生命活動有著非常重要的影響，被人們譽為“空氣維生素”、“短命素”。