日本ace適用于半導(dǎo)體制造工藝的壓力控制器AP250 / AP500
AP250和AP500是適用于半導(dǎo)體制造工藝等中使用的清潔氣體壓力控制的大流量型控制器，由氣壓控制單元（相當(dāng)于AP100N）和圓頂型調(diào)節(jié)器單元組成。
此外，外部安裝有壓力傳感器，來(lái)自傳感器的信號(hào)輸入到氣壓控制單元，氣壓控制組的閥被開(kāi)/關(guān)控制，以調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)器中球罩的內(nèi)部壓力自動(dòng)調(diào)節(jié)以匹配任何設(shè)定的壓力值。通過(guò)將流量傳感器安裝到外部，它也可以用作流量控制器。
AP250的控制流量為5001 / min，AP500的控制流量為2000L / min，兩種類型的控制壓力約為600kPa。
壓力接頭與適用于AP250的1/2“ VCR和適用于AP500的3/4” SWAG等效或等同于用于AP500的3/4“ VCR等效。適用于真空清潔氣體，用于導(dǎo)體，惰性氣體，腐蝕性氣體，危險(xiǎn)氣體等可以使用。
日本ace適用于半導(dǎo)體制造工藝的壓力控制器AP250 / AP500
規(guī)格
| 模型 | AP250 | AP500 |
| 主要用途 | 對(duì)于FPD，燃料電池 | 對(duì)于FPD，燃料電池 |
| 目標(biāo)氣體 | N2，空氣，H2等 | N2，空氣，H2等 |
| 入口壓力 | 999kPa以下 | 999kPa以下 |
| 耐壓 | 小于1500kPa | 小于1500kPa |
| 壓力設(shè)定 | 用顯示設(shè)定裝置設(shè)定 | 用顯示設(shè)定裝置設(shè)定 |
| 控制方式 | 圓頂內(nèi)部的氣動(dòng)控制 | 圓頂內(nèi)部的氣動(dòng)控制 |
| 控制壓力 | 0-500kPa | 0-500kPa |
| 流量 | 500L /分鐘 | 2000L /分鐘 |
| 響應(yīng)時(shí)間 | 1秒鐘達(dá)到設(shè)定值 | 1秒鐘達(dá)到設(shè)定值 |
| 輸入信號(hào) | 0-5 VDC連續(xù)/關(guān)閉 | 0-5 VDC連續(xù)/關(guān)閉 |
| RS485 | RS485 | |
| 外部傳感器輸入 | （4至20mA標(biāo)準(zhǔn)） | （4至20mA標(biāo)準(zhǔn)） |
| 輸出信號(hào) | 報(bào)警輸出，RS485 | 報(bào)警輸出，RS485 |
| 管件 | 相當(dāng)于1/2英寸的VCR或相當(dāng)于1/2英寸的世偉洛克 | 相當(dāng)于3/4英寸的VCR或相當(dāng)于3/4英寸的世偉洛克 |
| 閥座泄漏 | 10-5Pa ? m3 /秒以下 | 10-5Pa ? m3 /秒以下 |
| 準(zhǔn)確性 | 取決于壓力傳感器的規(guī)格 | 取決于壓力傳感器的規(guī)格 |
| 電源電壓 | 24VDC±10％ | 24VDC±10％ |
| 目前的消費(fèi) | 200mA以下 | 200mA以下 |
| 工作溫度 | 0-50℃無(wú)凝結(jié) | 0-50℃無(wú)凝結(jié) |
| 面之間的外部尺寸 | 寬70×深145×高124mm | 寬80×深178×高170mm |
| 壓力傳感器 | 無(wú)（外部） | 無(wú)（外部） |
| 顯示設(shè)定裝置 | 是（可以單獨(dú)安裝） | 是（可以單獨(dú)安裝） |
