μsurf 移動3D共聚焦顯微鏡光學測量系統是針對大型物體檢測（如軋輥和車身）而研發的。本系統以穩定的的μsurf共聚焦技術為基礎，因此它適用于嚴苛的生產環境。全套設備只有5.5kg，因此可以放在移動式運輸箱里并使用任何汽車進行搬運。到達現場后，這套系統只需要幾分鐘的準備時間就能投入使用。
μsurf 移動3D共聚焦顯微鏡的粗糙度測量結果遵循DIN,EN,ISO等標準，可以分析三維形貌和測量微觀尺寸并自動得出形狀結構和體積參數，測量結果會被轉移到一個可自由定義的分析軟件中進行進一步處理。在軋輥性能檢測中，它表面的紋理和缺陷能夠被精確的檢測和評估。這項技術已經在許多企業里得到成功的應用，這些企業涵蓋汽車行業、印刷和造紙行業、醫療技術行業、微電子技術行業；同樣，我們的技術同樣應用在眾多研究機構。
硬件 圖像采集模塊 | 采用*掃描技術的高速數字相機掃描，高達55幀/秒， 512x512像素，10位，火線接口 |
光源 | 高性能LED燈（λ=505nm），平均*時間：50000h |
X、Y軸模塊MN50 | 精密定位模塊，X、Y軸測量范圍：50x50mm2 |
Z軸模塊MN35 | 精密掃描模塊，行程：35mm |
Z軸模塊NV250 | 高速超高精度掃描模塊（壓電模塊），行程：250μm， 分辨率＜10nm |
外圍裝置及控制器 | 臺式機/筆記本/桌上型臺式機，Windows XP專業版，4GB RAM，火線接口，DVD光驅，以太網絡，3D導航器，集 成的移動便攜式運輸箱 |
底座 | 為了檢測軋輥表面形貌，設計了特殊的底座，用于測量直 徑＞200mm的軋輥 |
