LIBSOPA實現(xiàn)了一維線性掃描、一維深度分析和二維面掃描分析，用統(tǒng)計解析的方法定量表征材料的偏析度、疏松度、夾雜物分布、表面和內(nèi)部缺陷分析等指標。LIBSOPA為材料成分分析 、 缺陷分析 、涂鍍層分析等 提供了新的技術手段及質(zhì)量判據(jù) 。

激光原位分析儀非接觸、微區(qū)、深度分析；兼具原位統(tǒng)計分布分析功能；分析空間分辨率150-400μm.

技術參數(shù)：

一.激發(fā)光源

激光器：燈泵固體激光器

輸出波長：1064 nm

脈沖頻率：1~10Hz可調(diào)

二.雙視場成像：

全景視場：100mm*100mm

微區(qū)視場：8mm*8mm

三.移動掃描系統(tǒng)：移動分辨率：1μm

行程：80mm*80mm

四.剝蝕光斑 ：

軟件自動調(diào)節(jié)

尺寸：150μm ~400μm

五. 分光系統(tǒng)：

巴邢—龍格架法，光柵焦距750 mm

高發(fā)光全息光柵，刻線為2400條/mm

譜線范圍：170~800nm

分辨率：優(yōu)于0.01nm

? 惰性氣體密閉樣品倉

? 可檢測短波元素（C,P,S,B)

一.激發(fā)光源

激光器：燈泵固體激光器

輸出波長：1064 nm

脈沖頻率：1~10Hz可調(diào)

二.雙視場成像：

全景視場：100mm*100mm

微區(qū)視場：8mm*8mm

三.移動掃描系統(tǒng)：移動分辨率：1μm

行程：80mm*80mm

四.剝蝕光斑 ：

軟件自動調(diào)節(jié)

尺寸：150μm ~400μm

五. 分光系統(tǒng)：

巴邢—龍格架法，光柵焦距750 mm

高發(fā)光全息光柵，刻線為2400條/mm

譜線范圍：170~800nm

激光原位分析儀分辨率：優(yōu)于0.01nm

? 惰性氣體密閉樣品倉

? 可檢測短波元素（C,P,S,B)