VOC廢氣處理設備常見的產生等離子體的方法是氣體放電，所謂氣體放電是指通過某種機制使一電子從氣體原子或分子中電離出來，形成的氣體媒質稱為電離氣體，如果電離氣由外電場產生并形成傳導電流，這種現象稱為氣體放電。根據放電產生的機理、氣體的壓j源性質以及電極的幾何形狀、氣體放電等離子體主要分為以下幾種形式：①輝光放電；③介質阻擋放電；④射頻放電；⑤微波放電。無論哪一種形式產生的等離子體，都需要高壓放電。容易打火產生危險。由于對諸如氣態污染物的治理，一般要求在常壓下進行。
VOC廢氣處理設備
廢氣經阻火器過濾后，通過主進閥、旁通閥的同步反向切換調節進入熱交換器，熱交換器的熱氣升高一定溫度后進入預熱室、經過預熱室的加熱使廢氣升溫到催化起燃溫度（250度）然后進入催化反應床，在催化劑的活性作用下，有機廢氣進行氧化反應生成無害的水和二氧化碳，并放出一定的熱量。反應后的高溫氣體再次進入熱交換器，經換熱后，后以較低的溫度經引風機排入大氣。催化燃燒是借助催化劑在低溫下（200－400度）實現對有機物的*氧化，因此，操作簡單、安全、凈化效率高，在有機廢氣特別是回收價值大的有機廢氣凈化等領域應用廣泛。
不同的排放場合和不同的廢氣，有不同的催化燃燒廢氣處理工藝流程。
催化燃燒性能特點
1、用優質金屬鉑、鈀鍍在蜂窩陶瓷載體上作為催化劑、凈化效率高達97－99%，設備壽命長、且可再生、氣體流暢阻力小；
2、安全設施完備：阻火除塵器、泄壓孔、超溫報警等保護設施全；
3、預熱15－30分鐘全功率加熱。工作時只消耗見機功率即可，當廢氣濃度較低時，自動間歇補償加熱；
4、余熱可以返回烘道用來烘干工作，降低原烘道中消耗功率；也可供工廠其它方面熱能回用
催化燃燒處理注意事項
1、廢氣成分中，不能含有下列物質;有高粘性的油脂類。如磷、鉍、砷、銻、汞、鉛、錫；高濃度的粉塵；
2、設備選型時，注明廢氣的成分、濃度及出口溫度；
3、設備安裝場所無腐蝕性氣體，并有良好的防雨措施；
4、設備所需電源為：三相交流380V頻率50Hz;
催化燃燒適用范圍
1、用于有機溶劑的凈化處理如：苯類、醇類、酯類、酚類、醚類、烷類等混合性有機廢氣；
2、適用于漆包線、機械、電機、化工、儀表、汽車、發動機、塑料、電器等行業的有機廢氣凈化；
3、適用于各種烘道、印刷油墨、電機絕緣處理等烘干流水線等。
